超精密加工/ ultra-precision machining // ultra-precision machining /
加工零件的尺寸或形状精度优于100纳米，表面粗糙度Ra小于20纳米的加工技术。
碳钢材料超声辅助超精密切削/ ultrasonically assisted ultra-precision cutting of carbon steel /ultrasonically assisted ultra-precision cutting of carbon steel
超精密加工通过一定方式驱动金刚石刀具沿着一定方向（例如切削方向、进给方向、切深方向或者它们的组合）在超声频率下往复振动以去除材料的超精密加工方法。碳钢材料表面改性超精密切削/ ultra-precision cutting of surface-modified carbon steel /ultra-precision cutting of surface-modified carbon steel
超精密加工利用表面改性技术在碳钢材料表面获得具有一定厚度的金刚石刀具可直接切削的化合物层，从而有效抑制刀具磨损，使碳钢工件获得亚微米级形状精度和纳米级表面粗糙度的超精密加工方法。离子注入辅助单晶脆性材料超精密切削/ ultra-precision cutting of single crystal brittle material assisted with ion implantation /ultra-precision cutting of single crystal brittle material assisted with ion implantation
超精密加工利用离子束对单晶材料进行表面改性，以改善工件表层可加工性能的超精密机械加工方法。
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