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面形检测/ surface characterization testing // surface characterization testing /

通过一定手段对光学表面形貌进行检测，获得其表面面形与理想面形误差的方法。对光学元件进行高精度的检测成为光学系统正常有效运转的前提，光学检测水平决定了光学加工的水平。

光学表面粗糙度/ optical surface roughness /optical surface roughness
光学表面粗糙度
光学表面周期起伏的表面轮廓误差。又称表面光洁度。是评定光学元件表面各种微小加工痕迹的参量。
光学表面疵病/ optical surface flaws /optical surface flaws
光学表面疵病
在光学表面有效口径内加工过程中或过程后，某些不适当处置导致的表面局部缺陷。
光学亚表面损伤/ optical subsurface damage /optical subsurface damage
光学亚表面损伤
光学元件近表面区域由机械加工过程造成断裂、变形和污染等内部缺陷的损伤。
光学系统参数测试/ optical system parameters measurement /optical system parameters measurement
光学系统参数测试
在设计光学系统时，先根据实际的应用场合及应用要求，规定或计算出相应的主要技术指标，在制造出光学系统后并对该系统进行各项参数测试，与预期结果相比较，对光学系统进行综合评定。