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光学检测/ optical testing // optical testing /

为保证光学元件或系统在实际使用中的成像质量，光学元件或系统在投入使用之前，先对其进行确认元件或系统的制造精度是否满足设计指标要求的检测方法。

面形检测/ surface characterization testing /surface characterization testing
面形检测
通过一定手段对光学表面形貌进行检测，获得其表面面形与理想面形误差的方法。对光学元件进行高精度的检测成为光学系统正常有效运转的前提，光学检测水平决定了光学加工的水平。
光学表面粗糙度/ optical surface roughness /optical surface roughness
光学表面粗糙度
光学表面周期起伏的表面轮廓误差。又称表面光洁度。是评定光学元件表面各种微小加工痕迹的参量。
光学表面疵病/ optical surface flaws /optical surface flaws
光学表面疵病
在光学表面有效口径内加工过程中或过程后，某些不适当处置导致的表面局部缺陷。
光学亚表面损伤/ optical subsurface damage /optical subsurface damage
光学亚表面损伤
光学元件近表面区域由机械加工过程造成断裂、变形和污染等内部缺陷的损伤。
光学系统参数测试/ optical system parameters measurement /optical system parameters measurement
光学系统参数测试
在设计光学系统时，先根据实际的应用场合及应用要求，规定或计算出相应的主要技术指标，在制造出光学系统后并对该系统进行各项参数测试，与预期结果相比较，对光学系统进行综合评定。
轮廓检测/ profiler testing /profiler testing
轮廓检测
检测工件表面面形与理想面形之间的误差。其主要指标为轮廓度误差。
干涉检测/ interference measurement /interference measurement
干涉检测
利用光的干涉对光学面形进行检测的方法。
表面质量评价/ surface quality evaluation /surface quality evaluation
表面质量评价
对光学元件表面微观形状几何特征的描述，即评价实际光学元件表面面形和理想元件表面的偏差。
峰谷值/ peak-to-valley value /peak-to-valley value
峰谷值
在规定范围内波面峰值与谷值之差。
均方根值/ root mean square value /root mean square value
均方根值
将个项的平方和除以后开平方的结果。

光学检测/ optical testing // optical testing /

面形检测/ surface characterization testing /surface characterization testing

光学表面粗糙度/ optical surface roughness /optical surface roughness

光学表面疵病/ optical surface flaws /optical surface flaws

光学亚表面损伤/ optical subsurface damage /optical subsurface damage

光学系统参数测试/ optical system parameters measurement /optical system parameters measurement

轮廓检测/ profiler testing /profiler testing

干涉检测/ interference measurement /interference measurement

表面质量评价/ surface quality evaluation /surface quality evaluation

峰谷值/ peak-to-valley value /peak-to-valley value

均方根值/ root mean square value /root mean square value