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微机电陀螺仪/ MEMS gyroscope // MEMS gyroscope /

20世纪80年代发展起来的利用微机电加工技术制造而成的陀螺仪。

硅微陀螺仪/ silicon micro gyroscope /silicon micro gyroscope
微机电陀螺仪
利用科里奥利效应来测量物体转动角速率的惯性传感器，是一种微机电陀螺仪。
石英音叉式陀螺仪/ quartz tuning fork gyroscope /quartz tuning fork gyroscope
微机电陀螺仪
利用石英晶体制作的音叉在电信号作用下通过压电效应以恒定频率作等幅振动，当其旋转时受到一个阻止其转动的惯性力作用，从而激发了垂直于原振动平面的振动，这一感生振动的振幅与转动角速度成正比，它通过石英的压电效应产生一个电信号，从而感测转动角速度的陀螺仪。又称石英音叉速率传感器（QRS）。
音叉式硅微陀螺仪/ tuning fork silicon micro gyroscope /tuning fork silicon micro gyroscope
微机电陀螺仪
微机电陀螺仪的一种典型结构，
振动轮式硅微陀螺仪/ vibration wheel silicon micro gyroscope /vibration wheel silicon micro gyroscope
微机电陀螺仪
微机电陀螺仪的一种结构形式，敏感面内角速度。
振动环式硅微陀螺仪/ vibration ring silicon micro gyroscope /vibration ring silicon micro gyroscope
微机电陀螺仪
微机电陀螺仪的一种结构形式，是半球谐振陀螺的简化结构形式。