氧化层电荷/ charge in the oxide layer /charge in the oxide layer
【集成电路测试技术】二氧化硅-硅（SiO2-Si）系统中存在于SiO2内和SiO2-Si界面上的电荷。杂质分布测量技术/ measurement of impurity profiling /measurement of impurity profiling
【集成电路测试技术】对半导体器件中的杂质分布进行测量的技术。
薄层电阻测量技术/ sheet resistance measurement /sheet resistance measurement
【集成电路测试技术】对正方形薄层材料沿其对边平面方向进行电阻测量的技术。
半导体工艺检测/ technological test for semiconductor process /technological test for semiconductor process
【集成电路测试技术】在半导体器件生产中，对所有工艺步骤的检测。
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