激光诱发沉积/ laser-induced deposition /laser-induced deposition
[粒子束流与固体相互作用]由激光提供能量以诱导薄膜沉积生长。激光退火/ laser annealing /laser annealing
[粒子束流与固体相互作用]用激光对材料进行退火。又称激光处理。原子束与固体相互作用/ atomic beam interaction with solids /atomic beam interaction with solids
[粒子束流与固体相互作用]低能（几毫电子伏特至几十电子伏特）原子束入射到固体表面上，不是同单个靶原子碰撞而是与整个固体作用，并与固体中的声子发生非弹性散射。激光合金化/ laser metallization /laser metallization
[粒子束流与固体相互作用]用激光加热进行合金化，在半导体表面形成金属-半导体接触。电子束与固体相互作用/ electron beam-solid interaction /electron beam-solid interaction
[粒子束流与固体相互作用]具有一定能量或动量的电子束进入固体，与其表面或体内原子发生弹性或非弹性碰撞，引起电离能量损失、辐射能量损失和多次散射。离子束混合/ ion beam mixing /ion beam mixing
[粒子束流与固体相互作用]将离子束与薄膜技术相结合，使用离子束（通常是惰性气体离子）在沉积的膜层与基底之间，或者是在膜层与膜层之间通过原子间的碰撞相互混合，从而形成均匀成分的合金相。离子束与固体相互作用/ ion beam interaction with solids /ion beam interaction with solids
[粒子束流与固体相互作用]具有一定能量的离子穿进固态物质，在它经过的路径上同靶原子作用，并以一定方式把能量传给靶原子。
京公网安备 11010202008139号